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进行抛光质量测量

如何测量抛光质量

测量按钮用于启动单次或多次测量,结果直接发送至数据表。

  1. 确保传感器已校准。

  2. 要访问多次测量功能,右键单击测量按钮。

  3. 按下测量按钮开始测量。

Measurement button

如何使用交互式测量功能评估抛光质量

交互式测量功能提供实时样品表面视图。

表面相机可用于在测量前识别感兴趣的区域。

测量步骤

  1. 确保传感器已校准

  2. 按下按钮以激活交互式测量功能。

    Interactive button
    Polish
  3. 优化相机曝光

    • 使用自动曝光按钮,根据表面反射率优化相机设置。

    • 如有需要,可使用滑动条或输入框手动调整曝光。

  4. 调整测量区域

    • 蓝色方框(1)表示该模块的测量区域。

    • 移动传感器,使所需测量区域完全包含在蓝色方框(1)内。

  5. 预览测量

    • 按测量按钮(4)获取预览测量值。

    Polishing 2
  6. 特征识别

    • 特征地图(5)显示已识别的缺陷或表面特性。

  7. 调整测量参数

  8. 重新分析数据

    • 应用参数按钮(6)以重新处理分析。

  9. 保存测量结果

    • 当分析结果满意后,按“√”按钮(7)保存测量数据至数据表。

  10. 重新开始测量

  • 按“×”按钮重新开始交互式测量流程。

13 March 2025